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第110章 冰城工业大学012号课题![2/2页]

首富老爸:我开局被限制高消费! 茜茜大可耐

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让航母动起来,为整个航母提供能量。
      整个航母的电力系统,都是李浩这边的电控系统来管理,研究项目相互之间是有交叉的地方。
      当然知道李浩和他的团队很厉害。
      李浩谦虚道:“哪里,都是大家的功劳。”
      大家闲聊了一番,随后也正式进入主题。
      王院士说道:“听马院士说,你接手了鸿芯?投入大笔资金研究光刻机?目前研究到哪里了?”
      光刻机有多难?
      王院士当初可是长光所所长、馆长,如今已经退休了。
      像这样的国宝级人才,退休也是返聘。
      老人家也不让自己停下来休息,选择继续在一线折腾。
      当初长光所放弃光刻机的研究,就知道这方面的封锁有多难。
      李浩也知道,这是王院士对他的考验。
      或者说,想知道浩鼎实验室有多少技术?
      光刻机方面的研究,不是靠投入资金就能解决的。
      资金仅仅是最基本的东西!
      最重要的核心技术、人才、时间……最后才是资金。
      “液压技术方面,我们已经有了突破……我们在精密仪器、高精度加工设备上也有研究。”
      “橡胶材料方面的技术也已经取得突破。”
      “核心透镜我们已经解决了!”
      “曝光技术、校准技术、掩膜等方面的技术都已经有实质性的突破。”
      “下游的光刻胶、光刻机气体等技术和材料都有突破!”
      “目前,我主要研究方向是光源……”
      李浩使用「研发中心」研发出5nm光刻机,之前还研究过车载芯片。
      关于光刻机和芯片方面的专业知识、技术难题等等。
      他知道得一清二楚。
      是不是有真本事?
      是不是真的有技术突破?
      他和王琪海院士聊一聊就知道。
      王琪海院士不是专业研究光刻机的,但他对光学工程方面还是相当了解的。
      像王琪海院士这一代的人,人家专注的研究领域可不是某一个领域,在多个领域都算得上大牛!
      非常厉害!
      像双工作台、多重曝光技术这些,国内就有研究和突破。
      李浩这边就更加成熟。
      其实,委托齐勇从欧洲买来的32nm光刻机,使用的是duv光源。
      较比阿斯麦目前最新的euv光刻机,光源波长比较长。
      euv光源可以做到1015nm,光刻机起步就能做到7nm制程工艺到微米级别。
      duv最多就是28nm的制程工艺,通过多重曝光技术,也可以做到7nm工艺,这已经是极限了。
      国内有研究团队说能做到7nm工艺,就是duv技术使用多重曝光技术。
      只是相关技术……还是在实验室里。
      理论上的!
      量产光刻机……根本造不出来!
      多重曝光技术也很好理解:原本光刻机将芯片的电路图纸直接光刻到芯片上,光源比较粗,制程工艺有限制。
      多重曝光技术,将原本芯片上的图纸,拆分成多份,分别进行光刻,然后再组合起来,形成一个完整的电路图。
      这样做,能让duv光刻机理论上也能加工7nm芯片,但这也是极限了。
      5nm是不可能的。
      即便使用多重曝光技术拆分电路图,光源还是太粗,组合成一张电路图的时候,还是会出错。
      这就需要euv光源,它的波长更短,这个‘光是一把更精致的刻刀,能雕刻更细微的电路图。

第110章 冰城工业大学012号课题![2/2页]