原本20楼实验室,天花板上的轨道、八爪鱼机械臂、各种加工设备、仪器……都已经搬到楼下17楼去了。
如今这里变成了一个环境要求极高的实验室。
这里的天花板上,依旧就有一些机械臂,不过数量少了很多。
此外,地上是车轮式的机器人,安装的也是各种机械臂。
实验室里的设备,已经换成了一台八米多长、三米来高的庞大设备。
这是一台光刻机!
由实验室各项目小组完成相关技术,‘烛龙负责生产、制造、组装。
当然,这一台并不是5nm的光刻机。
这台光刻机使用的是duv光源。
目前实验室里,各种已经研究出来的技术,虽然不足以使用在5nm光刻机上。
用在duv光刻机升级上,是没有问题的。
李浩使用「研发中心」研究五纳米光刻机,获得的全套光刻机技术,其中包括duv光刻机和euv光刻机。
euv是最新的光刻机技术,起步就是7纳米工艺,最小能做到皮米级别,当然后者很难。
duv光刻机相当于是上一代的光刻机,相关的一些技术根本不用去研究,就没有下放的实验室研发团队。
浩鼎实验室相关技术取得的突破,用来升级这个duv光刻机是没问题的。
‘烛龙如今生产出来的这台光刻机,可以看作是李浩委托齐勇,从欧洲买回来的那台32nm光刻机一样。
使用的都是duv光源!
只不过,欧洲买回来的那台光刻机是32nm。
目前20楼实验室,李浩面前摆着的这台光刻机,它的制程工艺是7nm。
duv光刻机是可以做到7nm制程工艺的。
台电最开始宣布掌握的7nm工艺,就是使用的duv光刻机,制造的7nm芯片也被称为:第一代工艺的7nm芯片。
今年,台电应该会上第二代7nm工艺,采用的就是阿斯麦最新的euv光刻机。
“现在组装的这台光刻机是7nm……可惜是duv光刻机。”
“今年台电使用的是euv光刻机,是第二代7nm工艺……咱们这虽然是第一代,但好歹也是7nm啊!”
“过段时间,去拜访冰城工业大学和长光所,解决极紫外光源的问题后,我们掌握5nm工艺,就和阿斯麦、台电处于同一起跑线了!”
duv光刻机最高用到7nm,不会有什么太大的难题。
台电当年就用,duv光刻机做到了7nm。
只不过把duv光刻机做到7nm,可以看做是投机取巧。
将7nm芯片的电路图拆成多份。
每一份图纸上是电路图的一部分,使用多重曝光技术分别进行光刻。
最终在晶圆上组成完成的7nm芯片电路图。
硬件方面是没有太多的技术难题。
“烛龙,咱们euv光刻机大概还要多久?!”
“要看光源和几项关键技术……解决后,7nmeuv光刻机就没问题。”
听到烛龙这个回答,李浩本来想打个响指。
奈何手上全副武装,带上了胶手套。
“虽然是duv的七纳米光刻机,那也是7nm工艺呀……”
“不是所有的手机都要用最好的芯片。”
“也就几个品牌的顶尖旗舰机型,会用最好的芯片……”
“看看能不能勾搭夏为公司,把他们中低端的芯片给我们代工玩一玩!”
“实在没人找我们代工,明年新车更新,就直接上7纳米的车载芯片。”
第115章 ‘烛龙’制造的7nm光刻机![2/2页]